MEMC2300系列智能质量流量控制器 (Mass Flow Controller) 用于精准测量和控制气体介质的质量流量。通过就地设定或远程控制可使气体介质的质量流量按照工艺过程要求自动稳定在设定值上。质量流量基本不受压力和温度的影响, 具有精度高、重复性好的特点。质量流量控制器按照国家标准要求制造, 具有良好的兼容性和互换性。同时, MEMC2300系列智能质量流量控制器具备数据处理、记录、显示等相关功能, 还可实现NB-IOT物联远传功能。该控制器安装维护方便，包括底板安装和DIN导轨安装两种安装方式。

MEMC2300系列智能质量流量控制器主要应用于扩散、氧化、分子束外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入、真空镀膜设备、光纤熔炼等光电半导体生产工艺，微反应装置、混气配气系统、毛细管测量气象色谱仪等试验室设备辔头。且可用于石油化工、冶金、焊接、家电制造、制药等行业过程控制。

MEMC2300系列智能质量流量控制器由质量流量计、比例电磁阀、信号处理与控制模块三个部分构成。

质量流量计由本体、传感器、信号处理与显示模块构成。

传感器采用CMOS半导体工艺制造而成的MEMS微机电芯片。流量测量工作原理采用热扩散原理, 芯片设加热器, 加热器的上下游两侧分别配置热电堆, 热电堆设测温元件。加热器和热电堆阵列的底部设有空腔, 可高效检测加热器的热量变化。加热元件导入恒定电流后, 其附近区域形成相应的温度场。介质流动使局部温度场重新分布, 因为温度场的变化与流体质量流量流速呈线性关系, 所以通过精确测量温度场可反算出流体质量流速。传感器应用热扩散原理, 直接测量质量流量, 基本无需压力、温度补偿，且将热扩散应用至微米尺度, 因此采用该传感器制造的质量流量计具有精度高、量程宽、灵敏、计量精准的特点。

流量计本体用于构造安全、准确的测量通道。而信号处理与显示单元用于处理传感器信号并将信号转换成用户需要的监测数据显示在LCD屏上。

比例电磁阀是电磁驱动的控制阀与流量计结合形成闭环流量控制系统，可以稳定、精确地控制气体流量。比例电磁阀是交、直流型供电的常闭阀, 磁滞低、重复性高、反应灵敏, 确保流量控制器良好的动态特性，且具有宽泛的Cv流量系数范围。采用弹性阀座密封件, 阀门可保证气密性关断截止。可提供整体式卡套接头用于安装阀组。

信号处理与控制模块与比例电磁阀、质量流量计形成闭环质量流量控制系统。该模块采用性能优良、可靠性高嵌入系统设计。集成了的自适应控制算法, 可以有效抑制测量数据随机误差，因此系统具有响应迅速、精度高、稳定性好的特点。