测量范围

X方向

100mm

Z1（传感器）

20mm

高度

300mm

*小内孔

30mm (换小测针可测更小内径)

测量范围

（粗造度）

X轴

Ra： 0.005 um ~ 16.00 um  

Z1轴

±20um，±40um，±80um

取样长度L

0.25 ， 0.80 ， 2.50，自动

评定长度

1L~5L（可选，L为取样长度）

测量行程长度

3L~7L（可选，L为取样长度）

测量精度

X方向

（L=X轴移动导轨距离）

±（1+2L/100）μm

Z方向

（H=Z轴方向测量高度）

±（1.8+3H/100）μm

示值精度（粗造度）

0.001um

示值误差（粗造度）

≤±7%

传感器

类型

电感传感器

分辨率

0.02μm

产地

进口

X轴

直线度

0.20μm /60mm

分辨率

0.5μm

产地

进口

爬坡角度

上升77度 下降88度

测针

针尖形状（轮廓）

单切面、锥形

针尖角度（粗糙度）

90度

测量速度（轮廓）

0.02mm至4.0mm/s

速度（粗造度）

*大驱动行程长度

17.5mm / 0.71 inch

*小驱动行程长度

1.3mm / 0.052 inch

测量方式

传感器移动

工作压力

0.35～0.43Mpa

气源压力

0.45～0.80Mpa

气源流量

≥0.2 m³/min

电源

AC 220V±10%  50Hz

环境要求

温度：10～30℃；相对湿度：＜85%

机械部分

大理石工作台面及主机仪器架

气浮导轨系统

方立柱系统

传感器系统

进口光栅尺系统

调整工作台

水平调整系统

回转及角度调试系统

平口装夹系统

校正标准件一套

测针与测杆

Φ2*18mm  斜测针  2根

Φ2*18mm 尖测针  2根

Φ5*120mm 测杆    1根

空气过滤系统

电器部分

电器控制系统

工业控制计算机

工控主板 NORCO950

工控底板 NORCO PBP-14P4

CPU E5500

金士顿 2G 三代

硬盘SEAGATE 500G

17″普屏液晶

基于win XP系统下MMD测量软件

HP喷墨打印机

电脑桌