智能气路控制仪是基于热式气体质量流量控制器，来进行多种气体混合，浓度稀释的一种装置。可根据客户的需求定制不同的气体、流量、浓度稀释范围，并利用软件进行控制。
产品优势：
► 流量监测、记录 ► 自动多段进气
► 浓度自动配比 ► 多种气体可选
► MFC 故障监测 ► 超压检测与报警处理
► 无线通讯控制（可定制） ► 手机APP监测（可定制）
产品参数：
产品名称 | 智能气路控制仪 | |
项目 | 参数 | 备注 |
流量范围 | 标准四路 | 100SCCM 500SCCM 2SLM 5SLM (其他量程可定制，至大量程不超过30SLM) |
精度 | ±1%F.S. | 其他精度可选 |
响应时间 | 2秒 | |
重复性 | 0.2%F.S. | 单路重复精度0.2%F.S. |
截止功能 | ≤0.6MPa | 标配，位于总出气口，常闭截止阀 |
整机尺寸 | 490mm×500mm×200mm | 深×宽×高 |
供电电压 | 220VAC | 100W |
单项功能 | √ | 4路标配，位于混气前，避免气体返流 |
自动进气 | √ | 4路标配，按时间和流量自由编辑 10段数据点，3组数据切换，任意循环（定制） 可实现：浓度配气，时间配气，压力配气 |
自动报警 | √ | 标配，自动报警，自动关断，实时监控设备状态 |
数据处理 | √ | 标配，数据记录保存，导出到U盘进行存储 |
外接通讯 | 可选 | MODBUS-RTU |
漏率 | ＜1×108atm.cc /sec He | |
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