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气相沉积炉

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:马弗炉/电阻炉/实验炉
  • 所在地:杭州市
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2024-07-11 11:16:00
  • 浏览次数:2
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  • 经营模式:生产厂家
  • 商铺产品:515条
  • 所在地区:浙江杭州市
  • 注册时间:2024-05-13
  • 最近登录:2024-06-19
  • 联系人:石 (销售)
  • 电    话:13588405303
产品简介

气相沉积炉是一种通过气相反应在固体表面沉积形成薄膜或涂层的设备。它可以根据不同的工艺需求和沉积材料,分为多种类型,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等。

详情介绍
气相沉积炉是一种重要的工业设备,广泛应用于材料科学、电子工程、化学工程等领域。以下是关于气相沉积炉的详细介绍:
 
一、定义与分类
气相沉积炉是一种通过气相反应在固体表面沉积形成薄膜或涂层的设备。它可以根据不同的工艺需求和沉积材料,分为多种类型,如化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积(PVD)等。
 
二、工作原理
气相沉积炉的工作原理基于气相反应原理。在加热室内,气相反应物在高温下发生化学反应或物理变化,形成所需的沉积物并附着在固体基材表面。通过精确控制温度、压力、气体流量等工艺参数,可以实现高质量、高稳定性的薄膜或涂层沉积。
 
三、结构与组成
气相沉积炉主要由以下几个部分组成:
1.加热室:是处理工件的核心部分,通过加热使气相反应物达到反应温度。
2.水冷电极:用于提供电能或进行其他电化学反应,同时通过水冷方式保持电极的稳定性和寿命。
3.测温热电偶:用于实时监测炉内温度,确保工艺参数的准确性。
4.混气罐:由电动蝶阀、浮子流量计和不锈钢手动截止阀组成,负责氩气、丙烷等气体的混气配比,并向沉积炉内定量输送工作气体。
5.真空系统:包括滑阀泵、真空电动蝶阀等,用于排除炉内空气及工作废气,使炉子工作在恒定的压力范围之内。
6.过滤罐:负责滑阀泵前级的粉尘排除,保证真空系统的正常运行。
7.加热磁性调压器:用于控制炉温,确保沉积过程的温度稳定性和均匀性。
 
四、应用领域
气相沉积炉在多个领域具有广泛的应用:
1.材料科学:用于制备各种功能薄膜和涂层材料,如半导体材料、光学材料、超导材料等。
2.电子工程:在集成电路制造、微电子技术等领域中,气相沉积炉用于制备金属互连线、绝缘层、钝化层等关键结构。
3.化学工程:在催化剂制备、表面改性等方面发挥重要作用。
 
五、市场与价格
气相沉积炉的市场价格因型号、规格、品牌等因素而异。根据参考文章中的信息,气相沉积炉的价格范围从几千元到数十万元不等。具体价格还需根据实际需求和市场供应情况来确定。
 
六、气相沉积炉展示图
 

 

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