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"四氟硅烷,有机硅化合物的合成材料,水泥和人造大理石的硬化剂,氟硅酸及氟化硅的制造,硅的外延生长,等离子蚀刻,太阳能电池,复印机感光筒,非晶硅膜生成,化学气相淀积。另外,氟硅烷还用于超疏水表面的修饰。分子量: 104.08
熔点: -95.7℃
沸点(241kPa): 90.2℃
升化点: -94.8
液体密度(-80℃)j 1590kg/m
气体密度(20℃,101.325kPa): 4.370kg/m
相对密度(气体,空气=1,20℃,101.325kPa):3.63
比容(21.1℃;101.325kPa):0.231m/kg
临界温度: -14.2℃
临界压力: 3715kPa四氟化硅在常温常压下为具有窒息性刺激臭的无色气体,空气中不燃烧。在600℃时与SiCl4反应生成SiClF、SiCl2F及SiCl3F。在湿空气中能形成白色烟雾,水解后生成HF和氟硅酸。"
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