ANT130V-5单轴升降直驱纳米定位平台

ANT130V-5是直线电机驱动的楔形垂直升降级。它可以很容易地与其他级集成，包括ANT130系列中的载物台，以实现的多轴性能，并提供两种精度等级。

设计特点
纳米级性能，垂直行程为 5 mm
高分辨率 （2 nm）、可重复性 （100 nm） 和精度 （200 nm）
防蠕变交叉滚子轴承
高动态性能
非接触式直接驱动设计
ANT130V-5系列保留了原来ANT系列的所有直接驱动优势。只有非接触式直接驱动技术才能提供大规模生产精密设备所需的坚固、准确和高速定位。ANT130V-5级采用Aerotech开创的*直驱技术，以实现的定位性能。这种直驱技术具有高性能、无齿槽、非接触、高速、高分辨率和高精度。这种的驱动器和轴承组合封装在极小的外形和占地面积中，在许多应用中提供了切实的优势，例如高精度定位、磁盘驱动器制造、光纤对准、光学延迟元件驱动、传感器测试和扫描过程，这些都需要平稳和精确的运动。

灵活的系统设计
ANT130V-5系列具有通用安装和桌面模式，易于系统集成。两个、三个或更多轴可以轻松组合，以实现灵活的系统设计和多轴配置。

系统特点
出色的精度、位置可重复性和就位稳定性需要高系统分辨率。ANT130V-5 级业界的 2 nm 最小增量步长尺寸提供了这种高水平的性能。高品质、抗蠕变、交叉滚子轴承有助于实现出色的就位稳定性。该载物台在产品的整个使用寿命期间提供几乎免维护的运行。Aerotech的直接驱动技术没有迟滞或齿隙，可实现准确且可重复的纳米级运动。