PlanarDL 两轴，机械轴承，直驱线性载物台
我们的平面断续器-系列载物台在紧凑、薄型的封装中提供出色的几何和动态性能。各种行程和性能选项使该级非常适合从表面轮廓测量到LED晶圆划线的各种应用。

设计特点
集成式、薄型、XY、直线电机载物台
出色的几何性能（直线度可达 ±0.4 μm;平坦度可达 ±1 μm）
抗蠕变、精密交叉滚子轴承
多种选择 – 行程和精度方面有九种型号
高级舞台设计
平面断续器XY 设计可在直线度和运动平坦度至关重要的应用中实现行业的平面几何性能。高精度抗蠕变交叉滚子轴承、精密加工表面和 Aerotech 直线电机通过轴的刚度中心驱动，使定位阶段具有出色的几何公差。

平面断续器结构元件针对高动态和高刚度进行了优化，适用于的动态应用。能够实现 1 m/s 的速度和 1.5 g 的加速度，平面断续器可实现高通量、高精度加工，从而实现的工艺良率和较低的总拥有成本。与使用再循环轴承的竞争产品不同，此设计中使用的抗蠕变交叉滚子轴承允许平稳运动，使其成为具有挑战性的扫描应用的理想载物台解决方案。

非接触式直接驱动技术
只有非接触式直接驱动技术才能提供高速和准确的定位，以及免维护操作和长使用寿命。位于平面的核心断续器是 Aerotech 专有的直接驱动技术。与其他竞争性基于螺杆和直线电机的设计相比，这种驱动技术具有的性能。

平面断续器-200XY和-300XY载物台均提供每轴一个或两个电机，允许针对特定应用和过程优化每个单独的轴。无论选择多少电机，产生的驱动力都会穿过摩擦和刚度中心，从而实现的几何性能和精度。

集成电缆管理
平面上的电缆管理系统断续器集成在载物台上，并针对较长的使用寿命和性能进行了优化。额外的标准选件可用于额外的伺服轴或真空/真空管路，用于真空卡盘或其他过程气动装置。

定位性能
平面断续器提供三种定位性能选项。凭借数十年的系统级设计经验，不仅包括定位机械，还包括软件和电子，Aerotech开发了*的技术来推动精度的发展。提供高性能 -PLUS 和 -ULTRA 选项，可实现低至 ±400 nm 的精度和直线度值，以及低至 1 弧秒的正交性。