ABL3600 空气轴承直驱开放式直线平台

ABL3600双轴、大口径、开放式框架、含气载物台可满足扫描显微镜、掩模和晶圆检测的需求。

设计特点
大通光圈
所有轴上的全预载荷
双直线电机驱动的 X 轴和 Y 轴
非接触式线性编码器，精度高
设计与施工
高刚度空气轴承和双直线电机驱动轴的组合提供了具有性能特征的XY开放式框架载物台。ABL3600 代表了与传统机械轴承开架级相比性能的重大提升。

与所有 Aerotech 空气轴承系统一样，专有制造技术用于生产具有的几何特性的载物台，包括直线度、平面度、螺距、滚动和偏航。ABL3600 在 Aerotech 的生产设施中制造，加工时具有传统方法无法实现的严格公差。

无刷线性伺服电机
ABL3600 集成了高功率直线电机，可满足应用的需求。这使得载物台具有直接驱动机构的所有优点：零背隙，无上链，出色的加速度，零摩擦和出色的伺服刚度。许多应用需要的运动稳定性，而这只能通过直线电机驱动来满足。由于传动系零摩擦，无再循环元件，ABL3600 是扫描、成像或任何其他精密应用的理想选择。

高精度线性编码器反馈
标准反馈设备是高分辨率、非接触式线性编码器。这款非接触式编码器在各种工作条件下提供出色的可重复性和稳定性。提供数字和模拟输出版本。

电缆管理
多年的研究造就了业界的电缆管理系统（CMS）。我们仔细优化电缆弯曲半径，只使用质量的电缆，以确保多年的运行。在不太可能发生故障的情况下，Aerotech的模块化设计使电缆更换变得快速而简单，停机时间最短。为了便于集成到最终系统中，我们在CMS捆绑包中包括所有客户所需的电缆，空气软管等。两端连接，可轻松集成到客户的机器中。

定制设计
Aerotech设计和制造定制的高性能系统，以满足客户对各种应用的需求和规格。我们可以利用超过35年的运动控制和定位系统经验，为您的应用提供理想的解决方案。