ATS100 机械轴承，丝杠驱动线性载物台
ATS100 载物台采用箱式设计，具有精密研磨滚珠丝杠和直线运动导轨轴承，可提供出色的刚度和长期稳定性。紧凑的设计使其能够轻松地将 ATS100 载物台集成到狭小空间中，如龙门桥、机器外壳和真空室。ATS100 载物台由一系列带集成反馈编码器的无刷旋转电机驱动，为您的工艺提供平稳、超精确的运动性能。此外，ATS100 载物台还具有防止污染影响的功能，可确保高度可靠运行的长使用寿命。

设计特点
提供亚微米定位精度和双向重复性，可达 0.3 μm
采用薄型、紧凑的外形，可轻松集成
提供出色的刚度和稳定性
通过一体式波纹管护销防止污染
支持 200 mm 的行程长度
提供真空兼容配置
主要应用
ATS100 载物台是各种精密工业和实验室应用的理想选择，包括：

测量、检查和显微镜
半导体晶圆测试和制造
激光微加工
精密点胶
光学操作和处理
*制造和精密微加工
龙门 Z 轴应用

突出的结构特点
ATS100 系列载物台由特殊的铸造铝合金加工而成，具有高强度重量比和长期稳定性。底座采用箱形设计，可提供出色的刚度和稳定性。

ATS100 系列载物台采用预加载的精密研磨滚珠丝杠以消除间隙，其螺母具有雨刷器，可防止污染并在载物台的整个使用寿命期间保持高精度。高品质、预加载的双联轴承用于消除轴向游隙。

所有 ATS100 系列载物台均采用直线运动导轨 （LMG） 轴承，以提供高负载能力和高刚度。LMG 设计提供了一个紧凑的载物台，在整个行程中具有连续的滑块支撑和良好的悬臂负载能力。轴承卡车上的整体雨刷器有助于确保载物台行驶寿命。高精度光学限位开关和终端停止也是标准配置。

整体式波纹管式路盖可保护驱动和轴承系统免受污染。金属表面采用有吸引力的透明阳极氧化表面保护。公制（标准）和英制安装和螺栓孔模式均可用。

高精度
ATS100 在紧凑的封装中树立了精密性能的标准。ATS100 采用 -PL2 选件，能够达到亚微米级精度和 0.3 μm 的令人印象深刻的重复精度。

电机和驱动器
ATS100 系列载物台包括 Aerotech 的 BMS 系列无刷旋转电机。该电机具有无刷电机的所有优点 - 高加速度，无刷磨损和更低的加热 - 但齿槽零，可实现极其平稳的运动和准确性。Aerotech制造各种匹配的驱动器和控制装置，以提供集成和优化的运动解决方案。

选项
标准选件包括用于多轴装配和真空制备的精密直角支架，可达 10-6托。