Nanomotion设计和制造*的运动系统、子系统模块和压电马达/驱动组件。
FB系列标准工作台由Nanomotion的超声波驻波压电马达驱动，通过光学编码器提供闭环伺服运动。标准工作台为半导体、生物医学和仪器市场的广泛应用提供单轴和多轴运动性能。
这些紧凑级配置既有标准大气配置，也有真空配置，可支持清洁操作，达到ISO 3级清洁度。模块化设计允许轻松地将轴安装到彼此之间，同时使用标准角支架进行Z安装。所有轴均采用精密十字滚子轴承，带防偏移和光学编码器，以满足精确定位要求。
对于不适合标准舞台配置的应用，请随时联系Nanomotion的应用工程师团队，了解我们的定制舞台功能。
该产品具有精密的标准工作台，适用于大气和真空线性工作台，行程可达200mm，旋转工作台适用于连续运动Z-W边缘工作台适用于纯垂直运动，测角工作台适用于围绕公共枢轴倾斜/倾斜