探针式表面轮廓仪
布鲁克探针式表面轮廓仪(又称“台阶仪")历今四十载,积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面极广,为用户提供准确性高,重复性佳的测量结果。
在教育、科研领域和半导体制程控制,Dektak用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年,Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场越的测试工具,也被许多主要的光伏太阳能电池制造商所认可。
DektakXT
桌面型探针式表面轮廓仪
布鲁克DektakXT®台阶仪设计,实现了更高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高,达到了过去四十年Dektak®体系技术的,更加稳固了其行业中的地位。不论应用于研发还是产品测量,在研究工作中的使用是的DektakXT地功能更强大,操作更简便易行,检测过程和数据采集也更加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
探针式轮廓仪的黄金标准
DektakXT®探针式轮廓仪的突破设计,实现了垂直高度重复性高达4埃,数据采集能力提高了40%。这一里程碑的和突破,使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。
技术四十余载,不断突破用攀高峰
Dektak品牌是基于微处理器控制的轮廓仪,实现微米测量的台阶仪,台可以达到3D测量的仪器,台个人电脑控制的轮廓仪,台全自动300mm台阶仪。现在,全新的DektakXT延续了这种性的风格,成为台采用具有具有单拱龙门式设计,配备D摄像机,并且利用64位同步数据处理模式完成测量和操作效率的台阶仪。
提高测量和数据分析速度
次采用高速的直接驱动扫描样品台,DektakXT在不牺牲分辨率和基底噪音水平的前提下,大大缩短了每次扫描的间隔时间,将数据采集处理的速度提高40%。另外,DektakXT采用布鲁克具有64位数据采集同步分析的Vision64,可以提高大范围3D形貌图的高数据量处理速度,并且可以加快数据滤波和多次扫描数据库分析的速度。
提高操作的可重复性
使用单拱龙门结构设计更坚硬持久不易弯曲损坏,而且降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。DektakXT会把系统和环境噪音引起的测量误差降到,能够更的扫描高度小于10nm的台阶,获得其形貌特征。
完善的数据采集和分析系统
与DektakXT的性设计相得益彰的配置是布鲁克Vision64操作分析软件。Vision64提供了操作上实用简洁的用户界面,具备智能板块,可视化的使用流程,以及各种参数的自助设定以满足用户的各种使用要求,快速简便的实现各种类型数据的采集和分析。
简便易行的实验操作系统
DektakXT新颖的探针的部件自动对准装置,可以尽量避免用户在装针的过程中出现针尖损伤等意外。为尽可能满足所有应用的需求,布鲁克提供各种尺寸的标准探针和特制探针。
的保证
DektakXT的测量重复性为工程师们提供准确的薄膜厚度和应力测量,使其可以调节刻蚀和镀膜工艺来提高产品的优良率。
技术细节
Close up photograph of Dektak stylus tip measuring features on a silicon wafer.
Photograph of tip exchange on DektakXT. Tip exchange assembly makes changing tip sizes easy.
DektakXT仪器特性
的性能和优于4埃 lt;4 Å)的测量重复性
· 单拱龙门式设计实现了突破性的扫描稳定性
· 的"智能化电子器件"实现了低噪声的新
且易于使用
· 直观化的Vision64TM软件简化了用户界面的操作过程
· 的传感器设计使得在单一平台上即可实现超微力和较大的力测量
· 自对准的探针设计使用户可以地更换探针
探针式轮廓仪的
· 完备的零配件为您优化或延伸机台的多种应用提供保障
过去四十多年间,布鲁克的台阶仪研制和生产一直在理论和实践上不断实现性成果——
所有评论仅代表网友意见,与本站立场无关。