电容压力计CMC 系列

        *的压力计技术可为您提供持久的测量精度保障

        每种真空室工艺均需要精确的 Torr 水平保障以维持目标过程效率。布鲁克斯仪器的电容压力计采用行业的高级传感器设计，能够提升测量可靠性、限度减少漂移、耐隔膜污染并能够使热效应最小化并且由于布鲁克斯电容压力计产品均为全数字化设备，因此在宽动态范围内具有的精度。结果表明布鲁克斯电容压力计系列产品非常可靠，适用于各种真空度测量应用。

关键应用

• 超导体制造

• 薄膜沉积工艺 – 玻璃、网格和光学涂层

• 冻干易腐材料

• 适用于医疗仪器的高科技涂层（手术仪器、牙钻等）

选择自身项目要求的电容压力计。

经认证的紧凑型非加热式计量仪表，可提供经济有效的真空度测量

        布鲁克斯仪器的 CMC 系列电容压力计能够在各种工作温度范围下可靠、准确地进行真空度测量，是经济实惠的优质大型非加热式计量仪表替代产品。该产品采用紧凑型设计并具有经认证的性能，非常适用于因需要减少仪表占用空间而对现有测量工具进行升级的客户。

        产品采用全接液设计和 Iconel® 接液表面技术，即使在最激烈的过程条件下也可确保实现可靠的可重复操作。布鲁克斯仪器将精密组件和宽温度补偿工作范围相结合提供了的零点性能和跨温度系数从而能够确保测量稳定性。

特点

• 适用于 10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围

• 有两种精度水平可供选择：读数的 0.25% 或 0.50%（可选）

• 在各种工作温度下均具有出色的性能

• 相较于传统非加热式电容压力计体积小 40%

• 全焊接结构和 Inconel® 接液表面

优势

• 可选择具有高精度校准功能的选件以满足昂贵的优质非加热式压力计对精度的要求

• 的零点性能和跨温度系数

• 节省空间的设计有助于器件适配有限的设备空间

• 相较于易于发生故障（包括内部应力）的其他设计，拥有的测量结果重现性

应用

• 超导体制造

• 薄膜沉积工艺 – 玻璃、网格和光学涂层

• 冻干易腐材料

• 适用于医疗仪器的高科技涂层（手术仪器、牙钻等）

型号

规格

性能

机械

电气

认证和批准