太阳能超纯水系统一般采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水经济，太阳能超纯水系统也是目前环保的超纯水制备工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，太阳能超纯水系统对环境没什么破坏性。

　　太阳能超纯水系统符合标准

　　符合纯化水标准、符合GMP标准、美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业水质技术标准、电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、国内外大规模集成电路水质标准。

　　1、采用离子交换方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→阳树脂过滤床→阴树脂过滤床→阴阳树脂混床→微孔过滤器→用水点

　　2、采用二级反渗透方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透→PH调节→中间水箱→二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯水箱→纯水泵→微孔过滤器→用水点

　　3、采用EDI方式，其流程如下：

　　原水→原水加压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→精密过滤器→一级反渗透机→中间水箱→中间水泵→EDI系统→微孔过滤器→用水点

　　太阳能超纯水系统工作原理

　　1、水进入EDI系统，主要部分流入树脂/膜内部，而另一部分沿模板外侧流动，以洗去透出膜外的离子。

　　2、树脂截留水中的溶存离子。

　　3、被截留的离子在电极作用下，阴离子向正极方向运动，阳离子向负极方向运动。

　　4、阳离子透过阳离子膜，排出树脂/膜之外。

　　5、阴离子透过阴离子膜，排出树脂/膜之外。

　　6、浓缩了的离子从废水流路中排出。

　　7、无离子水从树脂/膜内流出。

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