227025PGE51106J-setra 227西特227超高纯压力变送器227绝压变送器227复合压变送器-山东展悦电子科技有限公司

　　Setra西特227表压复合压绝压超高纯压力传感器应用模块式1-1/8"气体棒和面板高纯气体传输系统半导体工艺工具■出色的稳定性，可避免停机

　　■抗EMI/RFI功能防止假停机■符合CE标准

　　常用型号

　　227G025PAE51106J 227G050PAE51106J 227G100PAE51106J 227G150PAE51106J 227G250PAE51106J 227G1000PAE51106J

　　227G3000PAE51106J 227G1R7BAE51106J 227G3R4BAE51106J 227G007BAE51106J 227G1017BAE51106J 227G035BAE51106J

　　227G070BAE51106J 227G2500BAE51106J 227GZ01PCE51106J 227GZ02PCE51106J 227GZ03PCE51106J 227GZ05PCE51106J

　　227G10CTAE51106J 227G20CTAE51106J 227G025PAE51106F 227G050PAE51106F 227G100PAE51106F227G150PAE51106F

　　227G250PAE51106F 227G1000PAE51106F 227G3000PAE51106F 227G1R7BAE51106F 227G3R4BAE51106F 227G007BAE51106F

　　227G1017BAE51106F 227G035BAE51106F 227G070BAE51106F 227G2500BAE51106F 227GZ01PCE51106F 227GZ02PCE51106F

　　227GZ03PCE51106F 227GZ05PCE51106F 227G10CTAE51106F 227G20CTAE51106J

　　Setra 227 型压力变送器专为高密度的模块式 “Block" 气

　　体棒和面板设计，能够满足如今 300mm 工具的要求。该

　　型号占用空间仅 11/8″，能节省宝贵的空间；结构坚固，是

　　要求长期稳定性、高精度和适合在恶劣环境使用的压力测

　　量应用于

　　·11/8″“Block"气体棒和面板

　　·高纯度气体输送系统

　　·半导体过程工具的理想选择。

　　与其他采用大体积封头腔室的产品不同， Setra227 型压力变送器采用了易于吹扫的小型传感器腔室设计。所有接液部件均采用 VIM/VAR316L 不锈钢制造，且表面钝化抛光至 5 Ra（蕞大 7 Ra），确保表面平整且耐化学腐蚀，实

　　现无污染气体输送。227 型压力变送器可选 5VDC、 10VDC 或 4-20mA三种输出类型，精度达 ±% FS 或 %读数。该型号可选符合工业标准的 11/8″带 C 型或 W 型密封的朝下安装的压力接口，另外还可使用多芯电缆、 4 针卡口接头和 9 针或 15 针 D-sub 接头进行电气连接。与 328 型 11/8″旋转显示屏配合使用时， 227 型可实现理想的压力测量和显示。零点和量程调整装置位于旋转保护罩下方的侧面。用户还可选择绝压、表压或复合压测量范围。高性价比227 型压力变送器采用 Setra砖利的可变电容技术，配有316L 不锈钢隔膜和绝缘电极板。绝缘电极板与传感器本地构成可变电容。当气体压力提升时，隔膜会变得略圆，使电容减小。传感器将检测到电容变化，并基于砖利的电荷平衡原理，通过 Setra的定制集成电路将其转换为高

　　精度的线性直流电信号。Setra 所有的超高纯系列产品都基于 Setra成熟的电容传感技术制造，能提供几乎不受 EMI/RFI干扰的高精度、稳定的电压或电流输出信号。

　　表压、复合压、绝压可选 PSI或BAR量程可选 11/8"下法兰安装

　　Setra 的227型传感器专用于当今的300mm工具所要求的高密度、模块式block

　　气体棒和面板。227型1-1/8"的占地面积优化了有价值的空间，其坚固的设计使

　　其非常适合那些要求长期稳定性、高精度和对恶劣环境格外不敏感的压力测量应

　　用。

　　与其它具有较大死端空泡体积的设计不同，227型具有一个方便洗涤的小排量传感器舱。所有湿润部件均为VAR316LSS材料，电解抛光至5Ra（10

　　max.）的终饰。每一个传感器都经质谱仪进行过高达的氦渗漏试验。

　　可选择5VDC、10VDC或4-20mA输出，227型可提供±%全量程或±%的读数精度。227型配备了一个节省空间的11/8"C型密封件下安装接口

　　底座，并可选择多芯电缆、4针bayonet连接器和一个9针或15针D型连接器用于电气终端。加上327型的1-1/8"可旋转显示器，该产品包达到了压力测量

　　及显示的Ji致。该设计包括在旋转保护盖下面的侧接近至零点及范围调节，可选择绝队压、表压或复合压。

　　Setra 获専利的可变电容传感器的特点在于一个316L不锈钢膜片和一个绝缘电Ji板。在传感器主体和电Ji板之间形成一个可变电容器。压力的增加致使膜片略微变圆，从而增加了电容。通过Setra 的定制集成电路检测电容值的变化，并利用获専利的电荷平衡原理将其转换成高度的线性DC电信号。