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全自动气体质量流量控制器s-300厂家

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:
  • 品牌:
  • 产品类别:其他
  • 所在地:青岛市
  • 信息完整度:
  • 样本:
  • 更新时间:2024-05-17 04:54:26
  • 浏览次数:
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产品简介

简介高性能MFC,为半导体行业量身打造S300系列数字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级先进流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关,多种通讯方式可选、可定制全金属密封,适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

详情介绍

简介

高性能MFC,为半导体行业量身打造

S300系列数字质量流量控制器/流量计:采用公司自主研发的工业级先进流量传感器,结合精细抛光气路结构以及高精度数字控制电路和算法,实现高精度、低零漂、高重复性控制。该产品配备现场显示屏和地址编码开关,多种通讯方式可选、可定制全金属密封,适配半导体、真空镀膜、光伏及其它各类应用环境 。

主要优势

S1 物理功能模块丰富

顶部配置有丰富的功能模块:

* RJ45数字通信接口(可定制

   EtherCATRS485协议)

* 地址编码开关

* 现场显示屏

* 状态指示灯

此外,侧面配置有M8航空供电接口,显示直观、操作简单,方便用户进行现场流量监测和控制。

image.png 

S2 快速响应

1.5ms传感器响应时间,0.1~0.5s仪表系统响应时间,及时捕捉微小流量变化。

image.png 

S3 高精度

2.0%-百分F.S.全量程段保持高精度:

0.3%F.S.(30%F.S.)1.0%S.P.(30%F.S.)

image.png 

 

 

S4 配备专用上位机

配备功能强大的SmartFlow上位机软件,支持多台联动,方便进行监测和设备配置。

 

image.png 

S5 认证产品

通过TüV国际机构CE&EMC认证,或JLY一级校准证书等,符合多项SEMI标准。

 

image.png 

 

产品规格

image.png 

 

*  除非另有说明,本产品标定于以下条件:氮气、温度25℃、2.5bar差压(进气口3.5bar绝压对出气口1bar

    绝压)、水平放置安装。

*  建议在入口端安装尺寸合适的直管段,否则可能会引起精度产生偏差。

*  建议在入口端和出口端匹配尽可能大的接头,以避免导致额外的压损。

1  所示量程为氮气可选量程。

2  %F.S.指误差占满量程的百分比。

3  %S.P.指误差占设定值的百分比。

4  响应时间指达到设定值±2%以内所需要的时间。

5  工作压力指进气口与出气口(1bar绝压)之间的差压,更多细节请联系我们。

 

 尺寸及通信

image.png  

image.png

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